Modul
Technologien und Bauelemente der Mikroelektronik

Prof. Dr.-Ing. M. Schröter
Institut für Grundlagen der Elektrotechnik und Elektronik

Zielgruppe:

Studenten des ET-Diplomstudiengangs (ab Imma-Jahrgang WS 2010)

Inhalte des Moduls:

• physikalische Grundlagen elektronischer Bauelemente,
• physikalisch-technische Grundlagen zu deren Herstellung mit Hilfe vonMikrotechnologien

Qualifikationsziele:

Die Studierenden besitzen die Fähigkeit

• auf Basis einer vereinfachten Beschreibung der physikalischen Potentialverhältnisse und Transportmechanismen in Halbleitern die grundlegendeFunktionsweise und die elektrischen Eigenschaften der wichtigsten Halbleiterbauelemente zu verstehen,
• die wichtigsten Kennlinien zu diskutieren,
• physikalische Modellbeschreibungen (einschl. Ersatzschaltbilder) von Halbleiterbauelementen für deren Anwendungen zu konstruieren,
• mit grundlegenden Prinzipien zur Herstellung und Miniaturisierung von Bauelementen und Schaltkreisen zu arbeiten und
• die Wirkungsweisen der Einzeltechnologien und deren Zusammenwirken zu einfachen Prozessabläufen zu verstehen.

Lehrveranstaltungen des Moduls:

• „Mikrotechnologien”
• „Elektronische Bauelemente”

Skript, Übungsaufgaben und Formelsammlung:

• Zu der Lehrveranstaltung "Elektronische Bauelemente" wird ein Skript angeboten. (WS 2012/13)
  
• Der Inhalt des Moduls wird am Ende des Semesters in Form einer Klausurarbeit geprüft,
  die aus Verständnis- und Rechenaufgaben besteht. Zu der Klausurarbeit wird eine Formelsammlung (enthalten in den Übungen) zum Download angeboten.

• In den Übungen (2013_v1) der Lehrveranstaltung "Elektronische Bauelemente" wird der Stoff der Vorlesung vertieft.